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應(yīng)用領(lǐng)域：用于擴散和鍍膜等工藝設(shè)備承載硅片。

產(chǎn)品特性：采用獨特專利黑色石英材料，通過高精度機械組裝而成的黑色石英舟，能在高溫化學(xué)品沉 積環(huán)境下大幅延長使用壽命，使其壽命超過14個月。